Отраслевая научно-исследовательская лаборатория
30 марта 1984 года совместным приказом Министерства электронной промышленности и Министерства высшего и среднего специального образования РСФСР в Мордовском государственном университете на кафедре микроэлектроники была организована отраслевая научно-исследовательская лаборатория (ОНИЛ) «Оптимизация физико-технологических процессов проектирования и изготовления аналоговых интегральных схем».
Работу по организации и научному руководству лабораторией возглавил кандидат технических наук доцент Сокольников А.В.
Были определены следующие основные направления работ:
1. Выполнение теоретических и экспериментальных исследований и разработок для оптимизации процессов проектирования современных и перспективных аналоговых интегральных схем.
2. Разработка высокоэффективных автоматизированных методов межоперационного контроля структур аналоговых интегральных схем и разработка новых технологических процессов.
3. Оптимизация программ и методик автоматизированных измерений параметров аналоговых интегральных схем.
Финансирование ОНИЛ осуществлялось за счет хоздоговорных работ с предприятиями отрасли в объеме около 100 тыс. руб. ежегодно. В лаборатории работало 15 штатных сотрудников, а также сотрудники кафедры.
Основные научные достижения и результаты деятельности отраслевой лаборатории:
1) Внедрен комплекс установок, приспособлений и технологических режимов локального золочения выводных рамок интегральных схем в МПО «Орбита» (научный руководитель Панкратов Б.А., исполнитель Падеров В.П.). Получено авторское свидетельство.
2) Разработан и внедрен для изготовления на опытном производстве Мордовского университета автоматизированный измеритель параметров зарядовых состояний в полупроводниковых и МДП-структурах (УМЭКС-1) для экспресс-контроля в технологическом процессе изготовления интегральных схем. Разработано программное обеспечение. Измеритель и программное обеспечение внедрены на 10 предприятиях и НИИ электронной промышленности для аттестации технологических процессов и проведения научных исследований (Саранск – МПО «Орбита», Ульяновск – «Искра», Москва – НИИМП, НИИПФ, НИИТТ, Минск – Институт электроники АН). Научный руководитель Сокольников А.В., исполнители: Сухарев В.И., Кижаев А.И. Получено 2 авторских свидетельства.
3) Разработаны методика и технические средства (автоматизированный измеритель параметров глубоких центров в полупроводниках и полупроводниковых структурах ИПГЦ-1) для контроля чистоты проведения технологических процессов и технологической оснастки. Измеритель и программные средства внедрены в МПО «Орбита» для аттестации технологических процессов (научный руководитель Домбровский Р.Р.).
4) Разработано программное обеспечение сбора, накопления и обработки данных по тестовому и функциональному контролю, которое внедрено в МПО «Орбита» для установления корреляции параметров этих видов контроля и отработки режимов технологии (научный руководитель Сокольников А.В., исполнители: Сухарев В.И., Монтвелишский М.Б.).
5) Разработаны конструкция и технология изготовления высоковольтных транзисторов в составе аналоговых интегральных схем серии К174. Результаты работы использованы в серийном производстве мощных ИМС УН14 в МПО «Орбита» и внесены в конструкторскую и технологическую документацию, что позволило получить образцы ИМС К174УН14, соответствующие уровню лучших мировых аналогов (научный руководитель Бухаров А.А.). Получено 2 авторских свидетельства.
6) Разработаны методики определения статических и динамических параметров моделей биполярного транзистора. Установка и программное обеспечение опробованы на примере моделирования ИМС КМ1005УР1 и КР1005УН1. Результаты работы переданы в МПО «Орбита» для использования в разработках новых ИМС. Научный руководитель Ивенин С.В., исполнитель Циликов С.С.
7) Разработаны и внедрены в производство программно-аппаратные средства локальной вычислительной сети для обработки измерительной информации в системах операционного контроля технологического процесса производства аналоговых интегральных схем (МПО «Орбита»). Научный руководитель Сокольников А.В., исполнители Куликов Ю.А., Саломатин В.Г.
По материалам научно-исследовательских работ ОНИЛ опубликовано статей и сделано докладов на всесоюзных конференциях – около 40, получено 6 авторских свидетельств, представлено 3 экспоната на выставки. Авторы и разработчики измерителя УМЭКС-1 получили звание лауреатов премии молодежных организаций Мордовии.
ОНИЛ активно участвовала в целевой подготовке специалистов (40 человек в год) для отрасли (предприятия Саранска, Ульяновска, Сарапула, Йошкар-Олы). Базовым предприятием являлось объединение «Орбита» (Саранск), для него силами ОНИЛ и сотрудников кафедры было подготовлено около 100 специалистов. В процессе проведения НИР студентов ОНИЛ обеспечивала выполнение дипломных проектов по заказам предприятий отрасли, кадровое сопровождение некоторых внедренных тем.